光學(xué)輪廓測量顯微鏡

輪廓測量顯微鏡是屬于計(jì)量儀器，儀器主要采用雙照明透、反射照明方式，通過觀察和光學(xué)系統(tǒng)對精密的幾何量（輪廓、長度、角度）進(jìn)行觀察、分析、測量。

光、機(jī)、電一體化測量儀器，廣泛用干機(jī)械、儀表、電子、輕工等行業(yè)，院校、研究所以及計(jì)量檢 定部門。

本儀器能高效率地檢測各種形狀復(fù)雜工件的輪廓尺寸和表面形狀，

如樣板、沖壓件、凸輪螺紋、齒輪、成型銑刀等、大規(guī)模集成電路線寬、小型零件（如鐘表零件）及其他精密幾何參數(shù)的數(shù)量。

光學(xué)輪廓測量顯微鏡

一、技術(shù)參數(shù)

1. 觀察筒：正像觀察筒，45°鉸鏈?zhǔn)饺浚嗾{(diào)節(jié)：50mm~76mm，兩檔分光比

 雙目:三目=100：0 或 0:100

2.移動(dòng)行程范圍：  X:100mm;Y:100mm

分辨率 Z 軸不小于 0.02um，XY 軸不小于 0.10um,Optical 不低于 0.40um

3.工作臺尺寸： 355×240mm  (玻璃臺面尺寸：210×175mm)

4.可檢測表面粗糙度：不小于 40nm

5.物鏡： 5X、10X、20X、50X、100X

6.總放大倍數(shù) 50X-1000X

7.雙照明光源，帶可變視場光闌與孔徑光闌，均可調(diào)中心

8. 適配鏡：直徑：59mm, 0.5 倍，內(nèi)調(diào)焦距：0～3mm 調(diào)焦后可鎖緊；

感光元件 1/2″，數(shù)據(jù)采集速度，可達(dá) 30 幀/秒，最高分辨率：2048×1536